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马志波图谱-航空航天领域：

相关人员

冯立杰 李晓莹 姜澄宇 马炳和 朱延波 乔大勇 张洪海 苑伟政

研究领域

粘附 刻蚀模型 灵敏度 有限元法 范德瓦耳斯力 氢健 MEMS 压阻式硅微压力传感器 刻蚀速率 毛细引力 工艺偏差 线性度 微机电系统 Lag效应

所属机构

陕西西安 西北工业大学微纳米系统实验室 西北工业大学陕西省微纳米系统重点实验室 空军工程大学工程学院

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