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测试方法 气体静压丝杠 残余应力 模拟退火 气体流动模型 优化 圆板型多孔质止推轴承 有限元模拟 螺旋线误差 数值模拟 热处理 多孔节流 铗缝节流 微小型机床 小孔节流 误差均化 形成机理 遗传算法 微细铣削 空气静压轴承 切削力 有限元

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