李晓莹 林国树 刘耀波 俞静峰 程步青 饶伏波 姜澄宇 马志波

物理仿真 平板电容驱动器 可编程衍射光栅 排列方式 二氧化硅 范德瓦耳斯力 微负载效应 仿真

陕西西安 西北工业大学 微纳米系统实验室 西北工业大学微纳米系统实验室